产品详情:

 

型号	YP1731 设备名称晶圆AOI
类型	晶圆脏物检测
外形尺寸	800*950*1400mm  (WxDxH)
晶圆台面高  度	850mm
适应产品规	格 8寸  (小尺寸需改承载台部分)
定位精度	±0.03mm  (X,Y)
定位精度	±0.05mm  (Z)
重复精度	±0.02mm  (X,Y)
视觉系统	500万像素黑白CCD，  远心镜头，      点光源
最小缺陷尺	寸 3um
工控系统	自主研发动作软件
工厂要求	电压：  220V，  50Hz  真空：  80-99Kpa
设备功率	900W